Aluminiumnitridrör

Termiska ledningsegenskaper

 Enastående värmeledningsförmåga (170-220 w/m · k) - Jämförbar med beryllia utan toxicitetsproblem

 Låg värmeutvidgning (4,5 × 10⁻⁶/ grad) - Matchar kisel för halvledarkompatibilitet

 Hög temperaturstabilitet - upprätthåller integritet upp till 1 380 grader i inerta atmosfärer

Elektriska och mekaniska egenskaper

 Utmärkt elektrisk isolering (10¹³ -10 ⁴ ω · cm volymmotivitet)

 Hög dielektrisk styrka (15-20 KV/mm)

 Måttlig mekanisk styrka (300-400 MPA Flexural)

Kemisk motstånd

 Resistent mot smälta metaller - inklusive aluminium och koppar

 Stabil för att minska atmosfärerna - till skillnad från oxidkeramik

 Hydrolysresistens - överlägsen konkurrerande nitrider

1. Halvledartillverkning

Skivbehandlingskomponenter - för CVD och etsningsutrustning

Plasmineslutningsrör - i torra etsningssystem

Värmare och chuckkomponenter - för termisk bearbetning

2. Power Electronics

Kylflänsrör - för högeffekt LED -förpackning

Isolerande kapslingar - i högspänningskraftsmoduler

RF/mikrovågskomponenter - Dielektriska applikationer med låg förlust

3. Avancerad materialbehandling

Crystal Growth Crucibles - för Gallium Arsenide -produktion

Metall förångningsbehållare - i vakuumavlagringssystem

Termiska gränssnittskomponenter - För högtemperaturugnar

4. Aerospace & Defense

Radarkomponenthus - Mikrovågs -transparenta egenskaper

Termiska hanteringssystem - för kylning av avionics

Materiella fördelar jämfört med alternativ

Säkrare än beryllia - jämförbar termisk prestanda utan toxicitet

Mer termiskt ledande än aluminiumoxid - 6-8 × bättre värmeavledning

Mer stabil än kiselkarbid - bättre oxidationsmotstånd

Tekniska nyckelord:
Aluminiumnitridröregenskaper, keramik med hög värmeledningsförmåga, ALN-tekniska specifikationer, halvledarkeramik